他60岁回国，做成了美国政府最害怕他做成的事

2004年的一天，在横跨太平洋的某个航班上，坐着一位清瘦、儒雅的老人。其平静的外表下，涌动着一颗沸腾的心。

临行前，美国政府清查了他的电脑，没收了他手上所有的工艺配方和设计图纸，以为这样就万事大吉。但多年后，这位老人却让他们付出了代价。

2015年2月，美国商务部宣布，解除等离子刻蚀机对中国的出口限制，理由是中国已经可以生产相同水平的设备。

迫使美国政府做出这一决定的正是这位老人，他的名字叫尹志尧。

壹

离开美国之前，尹志尧闯荡硅谷二十年，在全球最大的半导体设备公司——应用材料做到副总裁的位置，其参与开发的刻蚀设备，几乎占到了全世界的一半。

刻蚀机是芯片制造的三大核心设备，加工精度在纳米级，相当于在头发丝几千分之一的尺度上，盖几十层的高楼，修高速公路，搭立交桥。

多年来，等离子刻蚀机一直被应用材料、泛林和东京电子垄断。直到2004年，尹志尧回国创办中微半导体，这一格局才被打破。

2007年，回国仅三年的尹志尧，便带领团队开发出第一代刻蚀机，在业内首次采用双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。

在中国的土地上，第一次能够生产这样高端的半导体设备。

紧接着，中微又推出第二代产品，将刻蚀和除胶整合在一台设备里，再次颠覆了行业惯例。

凭借占地面积小、产出效率高等特点，中微的产品成功打入英特尔、台积电等一线大厂的生产线，并夺得国内35%的市场。

不仅如此，中微还将自己的产品线拓展至硅通孔、传感器等领域，为意法半导体、博世等传感器巨头提供先进的设备。

芯片代工巨头台积电布局7纳米工艺时，在全球遴选了五家设备供应商，中微是大陆唯一入选的企业。这是国内半导体设备第一次比肩世界领先水平。

因为中微的技术进步，美国商务部于2015年2月解除了等离子刻蚀机的出口限制，理由是中国已经可以生产相同水平的设备。

在另一个领域MOCVD，中微半导体则上演了一场国产逆袭的好戏。

LED灯是新一代照明技术，耗电量不到普通灯三分之一，寿命却是后者10倍。但由于制造LED芯片的核心设备MOCVD长期被美、德两家巨头垄断，每台售价高达2000万，导致我国LED灯价格昂贵，无法惠及百姓。

当国内厂商看到机会，纷纷介入时，两巨头却将价格狂降至700万，20多家企业还没熬到产业化便夭折，仅四五家活了下来。

作为幸存者的中微半导体，顶着巨大压力，不断提升技术，在业内首次采用700mm晶圆托盘，将芯片产量增加了近一倍。

凭借技术上的优势，中微在2017年实现大逆袭，全年发货106台，占据国内近一半的市场。在蓝光LED领域，更是全面取代了国外设备。

贰

中微的成功，得益于尹志尧开挂的人生。

1944年，尹志尧出生在北平一个爱国世家。他的外祖父是清末革命党人，祖父是庚子赔款留学生，父亲是留日电化学家。

兴许是这种家庭氛围，铸就了尹志尧不安于现状的性格。

他的学生时代，可用“开挂”两字来形容。中学就读于久负盛名的北京四中，本科毕业于天才云集的中科大。

同时期的大洋彼岸，旧金山半岛的一个谷地，正掀起一股半导体投资热潮，他日后的大东家应用材料也在1967年创立。

大学毕业后，尹志尧在兰州炼油厂和中科院系统工作了近十年。

1978年，“不安分”的他选择继续深造，考入北京大学化学系。在那里，他目睹了当时国内最先进的计算机，内存只有128K，却占了两栋大楼，里面装着数不清的电子管。

兴奋的尹志尧一定想不到，自己的余生将与这个行业密不可分。

六年后，当他进入英特尔时，人们已经能够将128K内存做到一块芯片上。三十年后，他带领团队开发出了能够加工128G内存的刻蚀机。

40年间，人类将内存芯片的尺寸缩小了1万亿倍。尹志尧有幸参与了这一过程，而扣动他心灵的扳机，也许正是北大的那台计算机。

循着这个方向，尹志尧从北京飞赴美国。1984年，在加州大学洛杉矶分校拿下博士学位后，他进入英特尔，在职场上继续自己开挂的人生。

在英特尔，尹志尧负责电浆刻蚀业务，经常与科林公司打交道。而他的任务之一，就是给对方的刻蚀机“挑刺”，找毛病。

这一挑，被对方给惦记上了，极力邀请他加盟。

这本不是一个困难的抉择，当时的英特尔初露王者之相，而科林成立不到六年，因为业绩不佳，正在大幅裁员。

出人意料的是，尹志尧选择了科林，也许是对方的困境激起了他的斗志。而尹志尧也果然不负众望，短短数年，便开发出一系列成功的产品，帮助科林斩获全球40%的市场。

被挑落马下的昔日霸主应用材料，很快便盯上尹志尧，向他抛出了橄榄枝。尹志尧没有犹豫，继续迎接下一个人生挑战。

换了东家的他，为了规避专利风险，不得不从头开始。几年后，戏剧性的一幕出现了，刻蚀机市场的天平再一次向应用材料倾斜。

到2004年，尹志尧离开前，应用材料已将之前的失地全部收复。而彼时的尹志尧，已然成为行业的领军人物，拥有74项已授权的美国专利。

叁

尹志尧扬名硅谷之际，中国半导体行业正处在蜕变前夜。

2000年，在倪光南等一批老专家的推动下，国务院出台18号文件，扶持半导体行业的发展，核心是降税，从17%降至6%。

从那一年起，一大批海外赤子前仆后继回国创业。8月，张汝京领衔的中芯国际在张江打下第一根桩，中国半导体行业翻开了新的篇章。

大洋彼岸的尹志尧，敏锐地捕捉到了这一趋势。

在一次世界半导体设备展上，他偶遇上海经委副主任江上舟。后者是上海芯片产业的旗手，曾鼓动张汝京等一大批硅谷华人回国创业。两人同时还是北京四中的校友。

江上舟仔细观看了应用材料的设备，然后激动地问：“看来刻蚀机比原子弹还复杂，外国人用它来卡我们的脖子，我们能不能自己把它造出来?”

面对校友的邀请，尹志尧犹豫了。当时，他已年近六旬，在跨国公司做到副总裁。

见他犹豫，江上舟又补充道：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧!”

一句话唤醒了尹志尧内心的小宇宙。回美国后，他开始游说身边的同行和朋友。

60岁，早过了创业的黄金期。即便是56岁创办台积电的张忠谋，也比他早四年。但祖孙三代报国的家世，让他义无反顾。

“给外国人做了这么多年嫁衣，是时候给祖国和人民做点贡献了。”他说。

2004年，尹志尧携15人的创业团队回到上海，震惊了硅谷同行。临行前，美国政府清查了所有人的电脑，没收了他们的工艺配方和设计图纸。

这不过是个小插曲。尹志尧曾设想过各种创业的困难，但真正站在浦东的土地上，他才体会到什么是一分钱难倒英雄汉。

由于初来乍到，他们只能挤在牛顿路的一栋楼里，办公面积不足500平米。

在美国，他每年有2亿美元的研发经费。但在上海，政府给的5000万元启动资金和团队自筹的150万美金，很快就被烧光。

缺钱，成了尹志尧面临的头号难题。

为了筹资，他跑遍所有可能注资的机构和企业，却没能拿回一分钱。当时，国内对这种几十亿砸不出个水花的行业既不熟悉，也不感冒。

无奈之下，只好求助于硅谷。结果，短短两周，数十家风投机构踏破门槛。此情此景，让一心报国的尹志尧泪湿青衫：难道只有美国人能造出刻蚀机?

不甘心让外资控股的尹志尧，将众多急于入股的风投拒之门外，带着3900万美元回到国内。在那里，江上舟有个好消息等着他。

国家开发银行行长陈元同意见他。当陈元得知他们要做的是刻蚀机时，兴奋地说：这东西，我做梦都想做，一定要支持。

结果，原定10分钟的会谈持续了近三个小时。

从国开行拿到5000万美元无息贷款的中微，随后步入快车道。三年后，其设备开始进入国际一流芯片生产线。

那一年，中微启动了第二轮融资，高通、三星赫然在列。看到兔子的国内机构，也开始撒鹰捕猎。时至今日，中微的内资已占到40%以上。

说起这些事，尹志尧有一个人要特别感谢，那就是江上舟。2011年，当江上舟不幸去世时，他专门撰文写道：上舟先生是我们的领路人。

肆

钱的事刚有点眉目，竞争对手又找上门来。

2007年10月，尹志尧离开美国三年后，应用材料将他推上了被告席。此前，中微刚发布了两类设备，并进入中芯国际试运行。

应材大概没想到，这位前高管会这么快搞出动静来。他们相信，一定是尹志尧盗用了公司的技术，毕竟他辞职前一直管理刻蚀团队，参阅了“大量敏感信息”。

“指控是没有根据的。”面对质疑，尹志尧显得很平静。

几十年和微观世界打交道的他，早已养成未雨绸缪、不授人以柄的习惯。当年从科林跳槽到应材，对方也曾起诉过他。但三个月后，就因证据不足撤诉了。

前东家的事还没消停，前前东家又凑了上来。2009年1月，科林在台湾状告中微专利侵权。时机选得也很巧，就在中微设备刚要进驻台湾某大厂前。

一年多时间，连续遭遇两次重击，中微不但没有退缩，还反诉对手，最终迫使应材同意和解，并在与科林的诉讼中笑到了最后。

中微的底气，来自尹志尧的未雨绸缪。

创业之初，他就立志打造一家有操守的企业。为此，他极力规避各种专利风险，不许员工带来前东家的技术资料，或者讨论对方的商业机密，并保证每一项设计和工艺不侵权。

这无异于另起炉灶，但尹志尧认为，这是做一家百年老店必须付出的代价。

多年后，当Veeco以专利侵权为由，将中微的托盘供应商告上法庭时，一定没想到，中微早在研制MOCVD时就分析过此专利，并确认那属于无效专利。

与中微相比，中芯国际就没那么幸运了。

当年创办中芯时，张汝京从台积电挖走一大批核心员工，却疏于管理，给对手留下了把柄。最终，因为侵权不得不赔款2亿美刀，出让10%股权。张汝京本人也被迫出局。

这就是中国半导体产业史上著名的割地赔款案。

此案过后，中芯国际元气大伤。身患绝症的江上舟，临危受命，以每天工作16小时的惊人毅力，稳住了局面，却输掉了自己的身体。两年后，撒手人寰。

用专利战拖住新入者，这是行业领导者惯用的拒阻策略，屡试不爽。即便是赢了官司的中微，也付出了惨痛代价。

在与应材、科林的鏖战中，本来资金就短缺的中微，花掉了两千多万美元律师费，还因为官司缠身，引起客户疑虑，致使产品进度受阻。

当时适逢2009年金融危机，半导体行业雪崩，设备需求下降50%。内外交困之中，中微不得不暂时搁置了高压热化学薄膜项目。

伍

在半导体行业，尹志尧是少有的既懂技术，又擅长经营的公司掌舵人。

早在中学时，他就展现出过人的组织能力，先后做了六年少先队和共青团工作;到了美国，又发起成立硅谷中国工程师协会，并担任了前两任主席。

而他早期的志向，也并非技术，而是政治和哲学。

尹志尧对人性有着深刻的理解，他一直想写一本书，书名叫《人本论》。

在他看来，人和动物最大的区别在于，人有一种永不满足的欲望。

几千年前的斗兽场上，人和动物要活下去，总要杀死一个。今天的竞技场，虽然不再你死我活，但也要分个高下。

从这个意义上讲，人性本身就是竞争性。

半导体是竞争最激烈的行业。以刻蚀机为例，几十年前,这个领域有近30个玩家，如今只剩下两三个。

尹志尧亲历了这段历史。残酷的现实告诉他，弱小就会被欺负。中微如果不能在竞争中壮大，就只能等死。

竞争的同时，人又是分群的，合作是唯一出路。作为强者，必须保持开放的心态，合作共赢。恃强凌弱，只会落得个众叛亲离的下场。

因此，人既要有狼性，也要有人性。

尹志尧讲的人性，集中体现在他的经营理念上。他认为，经营企业关键是处理好七大利益集团的关系，包括投资者、客户、政府、顾问、管理团队、员工和供应商。

具体到策略上，就是合作共赢，切实考虑到各方的利益。

在中微，所有人都有股份，前台和司机也不例外。不仅如此，尹志尧还规定：每一级的持股数相差不超过20%。而他自己只有不到1%的股份。

许多人质疑，董事长股份这么少，能管好企业吗?对此，他回应道，最好的管理是以德服人，而不是以权压人。

也因此，尹志尧在中微有强大的感召力。这在别人求之不得，他却视为危机。他认为，理想状态是第一代淡出后，第二第三代做得更好。

这就要求企业要像雁群那样团结合作，而不是像野牛那样一盘散沙。

合作的前提，是拥有开放的心态。

上世纪90年代，应用材料汇集66个国家的精英，才成就今日的霸主地位。今天的中微也在走这一开放的创新之路。

作为一家设备供应商，中微与上下游均保持着良好的关系。“和最先进的公司合作，是最好的一条捷径。”尹志尧说。

这种认识，来源于行业的实践。

昔日的ASML，曾因为技术落后被尼康和佳能吊打。后来，在德国蔡司、美国Cymer的技术支持下，尤其是有了英特尔、台积电的背书，才一举成为光刻机之王。

反观尼康和佳能，因为孤岛式的研发，最终葬送了大好局面。

陆

尹志尧还是一个非常低调的人。

他很少接受采访，理由是：人怕出名，猪怕壮。与抛头露面相比，他更愿埋头做事。对于中微今日之成就，他将其归功于团队的努力。

为了鼓励中学生创新，他在母校捐款设立基金，却拒绝以自己的名字命名。

2017年初，有媒体大肆宣扬中微在全球率先掌握了5纳米技术。而事实上，中微只提供刻蚀设备，不可能脱离芯片厂独立掌握相关技术。

不实报道搞得中微很被动，连一向儒雅的尹志尧也被激怒了，痛斥其为“义和团式”的博眼球行为，只会给真正埋头苦干的科学家和工程师添乱。

这并非尹志尧刻意的低调，而是出于他内心深处的清醒认知。

在半导体这个行业，中国企业需要追赶的，是西方数十年的积累。抛开技术不论，仅就规模而言，差距也是相当显著的。

以设备领域的龙头应用材料为例，2017年销售收入145亿美元，是同期国内整个行业总和的2倍多。其中，研发投入15亿美元，是中微的几十倍。

规模的背后，是行业的垄断。过去二三十年，半导体设备已经告别数十家公司自由竞争的时代，业务逐渐集中到两三个玩家手中。

比垄断更可怕的是结盟。寡头联盟一旦形成，后来者很难再进入。最典型的莫过于ASML与三星、台积电的结盟。

不仅如此，国内企业还面临西方国家或明或暗的技术封锁。

如何突围?尹志尧的选择不是封闭，而是更加开放。

在他看来，中国的半导体行业是一个落在地上，即将腾飞的鼎。这个鼎需要三条腿，一是钱，二是政策，三是人才。

现在的形势是，钱和政策已经到位，人才却极度缺乏。数据显示，未来几年我国大概需要70万半导体人才，目前只有不到30万。

如何填补这个空缺呢?从头培养已经来不及，尹志尧的办法是到国外去借。

“我们不能从头到尾开发……要建一个类似于美国硅谷的人才磁场，吸引国际精英投身于中国。”他说，这样才能站在巨人的肩上，尽快实现赶超。

这并不是一句空洞的口号。

建厂十几年来，吸引人才一直是尹志尧的头等大事。在他的努力下，中微有近1/3的技术专家来自海外，他们积累的行业经验超过2500年。

柒

如今，年逾古稀的尹志尧依然奋战在一线。

刚回国时，有一次坐出租车，司机对他说：你看起来只有38岁!尹志尧一听，爽朗地笑道：太好了，以后自己就是38岁的人。

“创业就是走上一条不归路，对于我这个年已六旬的人来说，很可能累死在工作的岗位上。”说这话时，尹志尧的内心更多是一种豪情。

其实，他本可以选择一条更轻松的路，像很多同行一样，当一个跟随者，先求生存再求发展。但是，时间不等人。

“外国人拿来掐我们脖子，我们能造出来吗?”当年，正是江上舟的一句话，撩起了尹志尧创业的初心，他要造出比国外技术更先进的产品。

如今十多年过去了，中微已基本赶上国外水平，尹志尧离自己的目标越来越近。